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美國ACM RESEARCH 單晶圓清洗設備

產品/服務:
品 牌: ACM RESEARCH
有效期至: 長期有效
最后更新: 2025-02-15 16:26
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公司基本資料信息






  • 詳細說明
  • 規格參數
 美國ACM RESEARCH  單晶圓清洗設備
單晶圓清洗設備
• 沉積前清洗
 
• 蝕刻后清洗
 
• CMP后清洗
 
• RCA標準清洗
 
• W Loop后清洗
 
• Cu Loop后清洗
 
• 去除BEOL聚合物
 
• 深層Trench/Via清洗
 
• 薄膜去除
 
• TSV后清洗
 
• EPI前清洗
 
• ALD前清洗
 
 

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