在材料生產(chǎn)檢測*域中，
激光共聚焦顯微鏡可以實現(xiàn)對器件表面形貌的3D測量。
中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，是*款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米*測量的檢測儀器。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)設(shè)備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；
3)設(shè)備具備*體化操作的測量與分析軟件，預(yù)*設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)設(shè)備具備*鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；
技術(shù)指標
型號 VT6100
行程范圍
X 100mm
Y 100mm
Z 100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量 50kg
測量原理 共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡 10×;20×;50×;100×
視場范圍 120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
重復(fù)性(1σ) 12nm
精度 ± (0.2+L/100) μm
顯示分辨率 0.5nm
寬度測量
重復(fù)性(1σ) 40nm
精度 ± 2%
顯示分辨率 1nm
XY位移平臺 負載 10kg
控制方式 電動
Z0軸掃描范圍 10mm
物鏡塔臺 5孔電動
光源 白光LED
在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。擅長微納*粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
應(yīng)用*域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
自設(shè)計之初，VT6000激光共聚焦顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標。
1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由*臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計；
2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；
3）操作便捷：采用全電動化設(shè)計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果；
4）采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。
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